產品名稱：Edge CDG100D2電容膜片式真空計

邊緣? CDG100D2 - 100°C - 內部熱，外部小

INFICON Edge 電容膜片式真空計是專為惡劣制造環境設計的極其準確的真空測量儀表。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩定性，而且具有無可比擬的零位穩定性。Edge 隨附 INFICON 已獲磚利的獨特傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產品的影響。先進的電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可配置信號調節，另外還有 EtherCAT 現場總線接口可供選擇。創 新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫，并節約寶貴的工具空間。INFICON Edge 是同類產品中*小的真空測量儀器。

好處
1，緊湊型，節省寶貴的工具空間
2，易于集成，各種滿刻度、法蘭，標配兩個設定點
3，輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點偏移
4，診斷端口便于快速服務與維護
5，兩年保修服務，先進的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
6，超卓的信號穩定性和可重復性，即使是*嚴苛的等離子應用，都無需長期執行重新校準
7，合規和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應用
1，CVD、蝕刻、PVD 及其他半導體生產過程