BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型電容膜片真空計將三大不同技術的優勢融合在一個單個、緊湊和經濟的可以測量 5×10-10 到 1500 毫巴（3.75×10-10 到 1125 托）的過程壓力和基準壓力的工具包里。 BCG450型電容式膜片真空計的設計旨在替代三個傳感器（熱離子、熱量增強型皮拉尼和真空開關），從而節省成本和寶貴的工具空間。

益處

• BCG450 可節省成本和工具空間，降低真空測量安裝與設置的復雜性
• 10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制，能夠對任何氣體混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
• 皮拉尼聯鎖保護熱絲，防止過早燒毀
• 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
• 大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
  
• 易于更換的傳感元件與板載校準數據確保再現性
  
• 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
  
• RoHS 合規

典型應用

• 半導體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
• 工業鍍膜
• 低真空和超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制

新聞
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